InSb晶体生长模拟仿真技术现状及展望
来源：激光与红外杂志2024年第12期北京时间：
作者：杨文博
单位：中国电子科技集团公司第十一研究所,北京 100015；
摘要：计算机模拟仿真技术是提升直拉法生长的大直径InSb单晶质量、降低晶体制备成本的有效工具。现在市面上投入使用的模拟仿真软件种类众多,而用于InSb晶体生长的模拟案例很少。通过对已有使用案例的分析可以获知各型软件的特点,分析对比各自的优缺点和适用的生长方法,结合InSb晶体生长特性来选择最适合用于InSb直拉法生长的模拟软件。
关键词：InSb;晶体生长;模拟;直拉法
