1064nm连续激光对彩色CCD的损伤实验研究

来源：激光与红外杂志2025年第7期北京时间：

作者：张翠恒

单位：长春理工大学 物理学院,吉林 长春 130022；

摘要：本文研究了CMYG系列彩色CCD探测器在1064nm连续激光下的损伤特性。结合彩色CCD多层结构的损伤形貌、损伤深度以及激光辐照后的输出图像,分析了彩色CCD不同阶段的损伤机理。根据实验现象将彩色CCD的损伤过程分为点损伤,线损伤和完全损伤三个阶段。研究表明,在点损伤阶段,彩色CCD输出图像出现颜色变化,主要是1064nm激光导致分色滤色片损伤引起的。在线损伤阶段,出现纵向白色亮线损伤,是由于部分激光经过透射和衍射进入传输沟道,引起信号电荷溢出传输势阱导致的。时钟线和各个电极之间的损伤导致部分像素无法通过时钟驱动完成信号电荷包转移,产生横向暗线。在完全损伤阶段,因N型硅基底的损伤使信号电荷无法完成转换、储存和转移动作,导致彩色CCD完全失去成像能力。

关键词：电荷耦合器件;激光辐照;连续激光;输出图像;损伤实验