碲锌镉衬底碘甲醇化学抛光工艺研究
来源：激光与红外杂志2025年第10期北京时间：
作者：王琰璋
单位：中国电子科技集团公司第十一研究所,北京 100015；
摘要：化学抛光是碲锌镉衬底抛光工艺中的最后一步,化学抛光后衬底的表面状态决定着碲镉汞的外延质量。本文研究了使用碘甲醇进行碲锌镉衬底的化学抛光工艺,从抛光盘转速、碘甲醇浓度和在溶液中是否添加乙二醇三方面对化学抛光工艺的影响。结果表明,使用浓度为001mol/L的碘甲醇,并添加乙二醇,设置抛光盘转速为20 rpm作为抛光参数获得的碲锌镉衬底粗糙度最小,为077nm。采用碘甲醇作为化学抛光液比常用的溴甲醇更容易进行过程控制,并且抛光后衬底表面的富碲情况更少,更适用于碲镉汞外延前衬底的表面处理。
关键词：碘甲醇;化学抛光;碲锌镉;乙二醇
