小像元锑化铟红外焦平面探测器研究
来源：激光与红外杂志2025年第12期北京时间：
作者：李忠贺
单位：1.中国电子科技集团公司第十一研究所,北京 100015；2.火箭军装备部驻北京地区第六军事代表室,北京 100074；
摘要：本文通过小尺寸低噪声读出电路设计研究、小间距锑化铟焦平面台面阵列制备、读出电路二次加工和倒装互连等关键工艺技术研究,制备了10μm像元中心间距,1280×1024阵列规格的锑化铟红外焦平面探测器组件,并对制备的探测器组件进行了性能测试,组件NETD达到211mK,有效像元率达到9985,响应率非均匀性达到331,并耦合光学系统,实现了演示成像。
关键词：锑化铟;小像元;红外焦平面
