II类超晶格探测器芯片双层背增薄膜研究
来源：激光与红外杂志2026年第5期北京时间：
作者：周蕾，游聪娅，李海燕，胡雨农，任秀娟，崔戈
单位：中国电子科技集团公司第十一研究所，北京 100015；
摘要：在红外探测器芯片背面沉积光学增透膜可显著降低界面反射损耗，增强入射光的吸收，从而有效提升器件的探测性能。本研究采用仿真计算设计了一种适用于GaSb基InAs/GaSb II类超晶格探测器的双层背增透膜结构，并在GaSb衬底、中/长双色和长波单色超晶格探测器芯片上完成了双层膜制备。通过对背增前后的芯片进行性能测试，证实该双层膜具备提升超晶格探测器响应性能的作用，同时通过温冲测试表明该膜系具有较好的可靠性。
关键词：红外探测器;II类超晶格;背增膜系设计
