超声切割SiC单晶时金刚石线锯磨损特性研究

来源：机床与液压杂志2015年第3期北京时间：

作者：王肖烨

单位：宝鸡文理学院

摘要：超声线锯切割SiC单晶时，金刚石线锯的成本仅次于SiC单晶材料本身的成本。建立了超声辅助切割SiC单晶时线锯受力模型，对线锯受力和失效形式进行了理论分析，并进行了相关试验，研究了工件进给速度对线锯偏角、切割方式对线锯磨损、切削液对线锯磨损以及磨粒破坏形式对线锯切割性能的影响规律。结果表明：工件进给速率及超声振幅增大，线锯易被拉断，但过小，切割效率会降低，要想通过增大工件进给速率提高效率，必须提高线锯强度，增大导轮直径，降低线速；超声辅助切割时线锯磨损可降低约40%；与自来水相比，使用Ecocool Resist EP微乳化液后线锯表面堵塞较严重；金刚石磨粒的微小破碎、有利于切割。

关键词：超声切割;SiC单晶;金刚石线锯;磨损特性

基金资助：国家自然科学基金资助项目（11302003）；宝鸡市科技公关项目（14GYGG25）；宝鸡文理学院院级重点项目（ZK12100）：陕西省大学生创新创业项目（1690）