LDS激光打标机的振镜扫描失真分析及矫正

来源：机床与液压杂志2015年第5期北京时间：

作者：谢永迅

单位：深圳大学机电与控制工程学院；深圳大学机电与控制工程学院；深圳大学机电与控制工程学院；深圳大学机电与控制工程学院

摘要：LDS(Laser Direct Structuring)激光打标机的振镜扫描系统存在失真问题，从而造成动态聚焦误差。对激光振镜扫描系统失真问题进行了详细理论分析，建立了该振镜扫描系统的数学模型，讨论了振镜动态聚焦误差来源和误差表现，提出了LDS振镜扫描系统误差矫正方法，通过实验验证了该方法的可行性。

关键词：LDS;激光振镜;动态聚焦;误差分析;误差矫正

基金资助：广东省自然科学基金资助项目（S2012010009058）；深圳市战略新兴产业发展专项资金基础研究项目（JCYJ20120613105226998）