直线式时栅位移传感器的动态测量与频谱分析

来源：机床与液压杂志2015年第6期北京时间：

作者：张天恒

单位：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心；重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心；重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心；重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心

摘要：针对直线式时栅位移传感器的结构特点，提出了动态测量的主要误差源。采用光栅尺作为母仪，直线式时栅位移传感器空间位置为光栅的测量值，将光栅测量值与直线式时栅位移传感器的预测值进行比较，从而得到动态测量的误差值。对误差值进行数据的截断和采样、异常数据剔除，然后对误差值进行幅值谱和相位谱分析，采用误差分离和谐波修正，研制高精度的直线式时栅位移传感器。

关键词：时栅位移传感器;误差源;动态测量;频谱分析