自抗扰控制在快刀伺服系统控制中的应用

来源：机床与液压杂志2015年第8期北京时间：

作者：李捷

单位：广东工业大学；广东工业大学；广东工业大学

摘要：为了提高微结构自由曲面光学元件超精密加工中快刀伺服系统的跟踪精度和抗干扰性，引入自抗扰控制器。通过对快刀伺服刀架进行建模分析，得到惯性环节和二阶振荡环节串联的等效模型。根据低阶自抗扰控制器控制高阶系统的理论，设计出二阶三维扩张状态观测器，可对来自各种干扰源未知扰动的观测结果做出实时估计和补偿。设计出自抗扰控制器，并给出了参数整定的规则。数字仿真实验表明：自抗扰控制器具有良好的控制品质，应用在快刀伺服系统中可以提高控制系统的跟踪性能和抗干扰性。

关键词：微结构自由曲面;超精密加工;自抗扰控制;快刀伺服系统

基金资助：广东省引进创新科研团队计划资助项目（201001G0104781202）