超精密静压支承部件及其在超精密加工机床的应用

来源：机床与液压杂志2015年第22期北京时间：

作者：胡秋

单位：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

摘要：超精密加工技术与装备在近年得到极大发展。超精密静压部件是超精密加工装备关键共性部件。以平面气体静压支承为例，介绍了静压支承基本工作原理。对超精密液体/气体静压主轴、导轨和转台的结构特点、技术特性、应用场合作了较全面的介绍；以典型超精密加工机床为例，介绍静精密静压主轴、导轨和转台在超精密加工机床中的应用。

关键词：静压支承;超精密静压部件;超精密加工机床;应用

基金资助：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室重点资助项目（K855；K856）