基于时序驱动的静态光场式时栅传感方法研究

来源：机床与液压杂志2015年第24期北京时间：

作者：付敏

单位：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心；重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心

摘要：提出了一种用时序驱动光敏元构成匀速扫描坐标系的方法，实现了将被测物体空间位移的测量转换为对时间差的测量。根据时栅相对运动双坐标系的转换原理，将线阵CCD的光敏元视为匀速扫描坐标系，两个空间上并排，时序上互相错开的线阵CCD为静止坐标系，则同一被测对象在两个CCD上输出电信号的时间差的变化量与扫描速度的乘积，即为所测位移的大小，并可以判断位移的方向。用雷尼绍激光干涉仪对所研制的CCD时栅传感器进行校准，在有效测量范围(600.05 mm)内，经过修正后的测量误差控制在±2 μm以内，实现了在光学领域应用时间测量空间的思想。

关键词：位移测量;时栅位移传感器;CCD位移传感器;时序驱动