分子泵用小型电机试验平台的设计
来源：机床与液压杂志2017年第4期北京时间：
作者：叶超
单位：中国工程物理研究院机械制造与工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造与工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造与工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造与工艺研究所
摘要：为便于测试研制分子泵用小型电机的特性，设计一套专用的试验平台。因为被测电机运行转速高（＞20 000 r/min），且需置于真空环境(＜100 Pa)，设计了高精度的定位基准、模拟实际运行环境的小型真空室、模拟电机实际负载惯量的惯量盘以及其他便于试验的装置。已经使用该试验平台开展了针对研制电机的性能测试。
关键词：分子泵用小型电机;定位基准;真空室;惯量盘;性能测试
基金资助：国家重大科学仪器设备开发专项（2013YQ130429）
