应用于IC制造领域的磁悬浮定位平台综述

来源：机床与液压杂志2017年第7期北京时间：

作者：张雯雯

单位：苏州大学机电工程学院&苏州纳米科技协同创新中心；苏州大学机电工程学院&苏州纳米科技协同创新中心；苏州大学机电工程学院&苏州纳米科技协同创新中心；苏州大学机电工程学院&苏州纳米科技协同创新中心；苏州大学机电工程学院&苏州纳米科技协同创新中心

摘要：磁悬浮技术由于无摩擦、无磨损、无污染、具有高加速度和高速度等突出优点，在当前IC 等制造领域具有广阔的应用前景，尤其适用于高真空、高洁净工作环境，新型磁悬浮定位技术成为国内外竞相研究热点。磁悬浮定位平台是一个非线性、多变量、强耦合的控制系统，为了实现控制系统的完全解耦，提高平台的定位精度，在结构、解耦方法和控制方法上，总结了国内外研究学者所做的大量研究，指出磁悬浮定位平台亟需解决的关键核心技术，优化磁悬浮定位平台性能，为IC制造领域的迅速发展提供可借鉴的研究方向。

关键词：磁悬浮;精密定位;解耦;控制方法

基金资助：2013年度高等学校博士学科点专项科研基金项目（20133201130003）；国家863计划（2013AA041109）