一种超精密大行程导轨直线度检测新方法

来源：机床与液压杂志2017年第10期北京时间：

作者：徐淼

单位：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

摘要：导轨直线度是超精密加工与检测机床最重要的基本几何误差之一，对机床性能影响很大。通过分析导轨直线度测量方法的研究现状，指出各测量方法在超精密大行程导轨直线度测量中的不足，提出一种导轨直线度检测的新方法，即采用加工和保存相对容易的短基准平尺进行拼接重构，采用最小二乘处理各段数据，获得大行程导轨全频段直线度数据。并通过实验验证：用此拼接方法所得导轨直线度与用基准长平尺测量的导轨直线度形状一致，数值基本相同。因此，采用此种方法可实现米级导轨直线度准确测量，并可实现导轨直线度误差补偿控制，将有效提升机床的精度水平。

关键词：超精密大行程导轨;直线度测量;拼接

基金资助：武器装备技术基础资助项目（2016JS21）；中国工程物理研究院909重大科技专项资助项目（9120602）