基于LabVIEW分子泵运行状况实时监测系统设计

来源：机床与液压杂志2017年第10期北京时间：

作者：叶超

单位：中国工程物理研究院机械制造与工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造与工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造与工艺研究所；中国工程物理研究院机械制造与工艺研究所

摘要：在研制分子泵过程中需要试制多台分子泵样机。为有效监测试制分子泵的运行状态，设计一套专用监测系统，该系统通过通用串口同分子泵控制器通信，获取分子泵电机相关状态；通过外部布设传感器获取设备振动信号。除此之外，监控系统还具有在线数据实时处理功能、数据监测和数据存储功能。通过该监测系统已开展了大量的测试试验。

关键词：分子泵;串口;实时处理;数据监测;数据存储

基金资助：国家重大科学仪器设备开发专项资助项目（2013YQ130429）