微细超声加工机床运动控制系统设计

来源：机床与液压杂志2017年第15期北京时间：

作者：连海山

单位：岭南师范学院机电工程研究所；岭南师范学院机电工程研究所；岭南师范学院机电工程研究所；岭南师范学院机电工程研究所

摘要：微细超声加工机床设计包括硬件设计与运动控制系统设计，运动控制系统是机床的核心组成部分，直接或者间接地影响到加工质量与加工效率。采用宏微复合的硬件设计结构能有效地保证运动控制精度，针对精密微三维运动平台，基于LabVIEW开发了微细超声加工中的运动控制系统，该系统包括初始化模块、粗对刀模块、精确对刀模块、绝对坐标实时显示模块、数据采集模块与加工模块。将微细工具所受的实时力与微三维运动平台的运动结合形成闭环控制，能有效地实现精确对刀以及恒压力进给加工。最后，对控制系统进行了测试，研究了恒力控制范围与增量位移、进给速度、回退速度之间的关系。

关键词：微细超声加工;运动控制;LabVIEW;程序设计;闭环控制

基金资助：多功能微细加工机床研制（ZL1502）;岭南师范学院“新材料与先进制造”协同创新中心项目(CIL1504)