工艺参数对单晶硅超精密加工切削力的影响

来源：机床与液压杂志2017年第19期北京时间：

作者：王明海

单位：沈阳航空航天大学航空制造工艺数字化国防重点学科实验室；沈阳航空航天大学航空制造工艺数字化国防重点学科实验室；沈阳航空航天大学航空制造工艺数字化国防重点学科实验室；沈阳航空航天大学航空制造工艺数字化国防重点学科实验室；沈阳航空航天大学航空制造工艺数字化国防重点学科实验室

摘要：为了了解单晶硅超精密车削过程中不同切削参数及刀具前角对切削力的影响，利用单晶金刚石车刀对单晶硅进行单因素变量超精密车削试验。试验结果表明:进给量 f 和切削深度 ap对 X、Y、Z 方向的切削力 F 均有增大的趋势；而在切削速度 vc增加时，各方向的 F 逐渐减小；切削前角减小时，切削力反而增大。通过各因素对切削力 F 的变化幅值可以得到，对 F 影响较大的参数为 ap及 f 。选取最佳组合参数对单晶硅进行超精密切削试验，得到极为光滑的表面。

关键词：单晶硅; 超精密切削; 切削参数; 切削前角; 切削力

基金资助：航空科学基金资助项目（2013ZE54002）