基于分子动力学单晶硅的纳米压痕过程研究
来源：机床与液压杂志2018年第6期北京时间：
作者：朱瑛
单位：沈阳航空航天大学 机电工程学院；沈阳航空航天大学 机电工程学院；沈阳航空航天大学 机电工程学院
摘要：基于分子动力学的基本理论，在微纳米尺度下建立了单晶硅的纳米压痕分子动力学模型。研究了在纳米压痕过程中单晶硅基体的变形机理、势能变化和温度变化。研究发现：在纳米压痕过程中基体上出现了位错、空位及滑移带，基体两侧有凸起现象。当压头撤离时，基体与压头间存在颈缩现象。在系统达到平衡时系统的势能出现不同，这是因为原子位错运动使得系统增加的势能小于压头原子所做的功。温度的变化与位错变形的程度相关，位错变形越剧烈系统温度升高的越快。
关键词：分子动力学;单晶硅;纳米压痕
