激光干涉仪在PCB数控机床精度检测中的应用研究

来源：机床与液压杂志2018年第8期北京时间：

作者：贾平平

单位：渭南师范学院数理学院

摘要：激光干涉仪已成为PCB数控机床中测量定位与重复定位精度的标准仪器。针对测量数据不稳定的问题，分析激光干涉仪测量原理，得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系；对生产现场环境模块数据进行测量，环境模块变化量对波长总的补偿量为0.23 μm，与实际误差相比，波长变化导致的误差几乎可以忽略，通过测量得出测量精度不稳定的主要原因是横梁X轴连接杆的变形。针对该原因进行了结构的重新设计，实现了精度补偿及测量的稳定。

关键词：定位精度;PCB钻孔机;波长;激光干涉仪

基金资助：陕西省教育厅科研项目（15JK1252）；陕西省军民融合基金研究项目（16JMR04）；渭南师范学院院级科研项目（17YKF05）