负压式气浮平台供气压力的研究

来源：机床与液压杂志2018年第19期北京时间：

作者：李程伟

单位：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院；；

摘要：液晶平板在线检测过程中，使用负压式气浮系统的稳定性更高，为了比较负压的大小对气膜稳定性、供气参数、质量流量的影响，运用气体润滑理论，对气浮平台的单个节流孔进行理论分析，得到气膜平面的压力分布规律。建立正负压节流孔间隔排布的通孔阵列模型，通过Gambit建立模型并划分网格，对模型提供不同的负压,导入Fluent进行数值计算，得到各种情况下通孔阵列和阵列中心的压力、速度分布曲线。比较得到负压为-2 kPa时，气膜稳定性更好。分析不同负压所需与之匹配的正压，得到对同一支承物，气膜厚度不变的情况下，正压随负压的变化规律。最后从稳定性和经济性因素出发，得到玻璃光学检测仪器的气浮支承平台的供气参数。

关键词：负压式气浮平台;Fluent仿真;静态特性;质量流量

基金资助：国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2013YQ220749)