一种用于太赫兹波扫描成像的X_Y扫描台设计与实现

来源：机床与液压杂志2018年第19期北京时间：

作者：张延波

单位：齐鲁工业大学（山东省科学院），山东省科学院自动化研究所，山东省科学院超宽带与太赫兹技术培育性重点实验室；；；；

摘要：针对太赫兹波扫描成像系统要求，在“步进电机+丝杠螺母”传动机构基础上加入光栅尺作为反馈元件，设计一种位置闭环控制的X_Y扫描台。选用上位机和运动控制卡作为扫描台控制系统核心，采用VC++6.0语言，利用运动函数库开发扫描控制软件，实现扫描参数配置、扫描轨迹生成、运动控制等功能模块，完成扫描台定点、连续运动。实验结果表明：扫描台稳定可靠，定位误差控制在0.05 mm以内，满足了太赫兹波扫描成像定位需求。

关键词：太赫兹波扫描成像;运动控制;定位误差

基金资助：山东省重点研发计划(2017GGX10124)；山东省重点研发计划(2016GGX101010)；山东省科学院创新工程专项资助项目〖ZK）〗