面向IC封装的龙门运动平台同步控制算法

来源：机床与液压杂志2020年第22期北京时间：

作者：贺云波，李展超

单位：广东工业大学,机电工程学院，精密电子制造技术及装备国家重点实验室；广东工业大学,机电工程学院，精密电子制造技术及装备国家重点实验室

摘要：基于永磁直线电机(PMLM)的龙门式运动平台广泛应用于芯片封装领域，但由于两PMLM间存在横梁机械耦合，因此较难实现系统的快速响应和精准同步。以龙门运动平台为研究对象，设计三环闭合控制回路后，提出一种基于模糊前馈的控制策略，同时辅以交叉耦合同步控制器，实现系统的快速同步性能。对传统PID同步控制和基于模糊前馈的同步控制算法进行对比分析，仿真结果表明：模糊前馈控制阶跃响应的上升时间为485 ms， 比传统PID控制缩短了65%；交叉耦合同步算法在保证定位精度的同时，使得系统具有良好的同步跟随性能和较强的抗干扰能力,基本满足芯片封装高速高精度的要求。

关键词：龙门运动平台;永磁直线电机;模糊控制;前馈控制;交叉耦合

基金资助：广东省自然科学基金资助项目(2016A030308016)；广东省R&D重点项目(2015B010133005)