环烯烃共聚物微流控芯片微通道热压键合研究

来源：机床与液压杂志2021年第2期北京时间：

作者：邱似岳，任晓龙，梁帅，邹大鹏

单位：广东工业大学，省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室；广东顺德创新设计研究院；广东工业大学，广东省计算机集成制造重点实验室；广东顺德创新设计研究院；广东顺德创新设计研究院；广东工业大学，省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室；广东工业大学，广东省计算机集成制造重点实验室

摘要：将以环烯烃共聚物（COC）作为材料的具有微米级微通道结构的微流控芯片作为研究对象，研究键合过程中的关键工艺参数温度、压力以及时间对微通道的影响。通过多物理场仿真分析工艺参数对形变规律的影响；开展热压键合实验和微滴生成实验，进行芯片尺寸和工作性能的校核。研究结果表明：在环烯烃共聚物玻璃化温度附近，键合温度对微流控芯片微通道形变影响最大，键合压力次之，而键合时间在一定范围内存在最优解。采用正确的热压耦合仿真分析方案能对实际微流控芯片键合过程中微通道的形变规律起到较好的预测作用

关键词：微流控芯片;环烯烃聚合物;热压键合;微通道

基金资助：广东省省级科技计划项目（2017A010102012）