三维激光球杆仪的研制与仿真

来源：机床与液压杂志2021年第3期北京时间：

作者：任工昌，张譍之，李海涛

单位：陕西科技大学机电工程学院；陕西科技大学机电工程学院；陕西科技大学机电工程学院

摘要：针对利用激光跟踪仪对数控加工中心进行线性测量成本过高的问题，开发了一种三维激光干涉球杆仪。利用激光干涉法实现距离测量，设计全新测量光路，并通过伸缩杆的被动拉伸实现跟随测量。采用双球铰运动副为激光器的空间姿态调整提供保证，并搭配激光器、镜组微调等装置实现随时对光。利用ANSYS Workbench软件对装置进行建模并验证模型精度。建立机构运动学方程，利用MATLAB对运动空间进行仿真。通过实验验证激光光路，证明了该设计的可行性。

关键词：球杆仪;激光干涉;线性测量;球铰链

基金资助：陕西省自然科学基础研究计划(2019JQ-783);陕西省教育厅专项项目(19JK0138)