微型晶体谐振器真空烤箱出料门系统设计及开发

来源：机床与液压杂志2021年第4期北京时间：

作者：李玉梅，李刚炎，辜志强，岳思齐

单位：湖北工程学院机械工程学院；武汉理工大学机电工程学院；武汉理工大学机电工程学院；武汉理工大学机电工程学院

摘要：为了满足微型晶体谐振器高性能封装需求，综合应用机-电-气一体化设计理念，研发一套微型晶体谐振器真空烤箱出料门系统。以密封性好、可靠性高为目标，提出了由Z轴按压机构、Y轴提升机构和防掉落保护机构组成的系统结构技术方案；以冲击性小、能耗低为目标，对气动回路进行详细设计，并在回路数学模型、仿真分析基础上，确定气动回路的关键参数；针对系统运动不同步现象，对其运动同步性进行仿真分析，验证气动回路设计合理性。最后样机试验表明系统运行稳定，完全满足系统预期功能需求及关键性能指标。

关键词：微型晶体谐振器;出料门系统;运动同步性

基金资助：湖北省教育厅科研计划重点项目（D20182703）