带标准分度转台的激光角度干涉仪的不准直误差模型

来源：机床与液压杂志2021年第4期北京时间：

作者：于海莲，夏仰球

单位：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，；中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，国家机床产品质量监督检验中心（四川）

摘要：为了探讨带标准分度转台的激光角度干涉仪在测量过程中的安装不准直误差对测量结果的影响，在分析回转轴转角误差测量原理的基础上，根据测量光路的几何特征变化规律，提出测量系统的不准直误差模型。研究不准直误差变化对转角误差测量结果的影响，明确了为保证最终测量结果的精度在±1″内宜采取的误差控制措施。通过与自准直仪配合高精度多面棱体方法进行比对实验，并利用不准直误差模型对测量结果进行修正后，可以将测量结果的最大差值减小为-0.52″。结果表明所建立的误差模型的正确性，在准确评估和提高测量系统的精度上有一定的推广价值。

关键词：带标准分度转台的激光角度干涉仪;不准直误差;误差模型;误差补偿