用于三坐标测量机的低成本转角误差测量方法

来源：机床与液压杂志2021年第19期北京时间：

作者：张文强，许立磊

单位：包头铁道职业技术学院内蒙轨道交通研究所；天津理工大学环境科学与安全工程学院

摘要：为以较低成本同时测量2个轴上的2个转角误差，提出一种适用于三坐标测量机或机床的转角误差测量方法。对固定在CMM滑架上的附加载质量对转角误差的影响进行分析及验证。采用干涉型高分辨率角位移传感器实现同时测量CMM滑架的2个转角误差，并且仅需在滑架上固定1个质量较小的平面镜，即可减小CMM滑架上的负载。为验证该方法的正确性，分别测量了2台示例性CMM的2个转角误差，并将所得结果与用标准激光干涉仪测量得到的值进行比较。实验结果表明：所提方法和使用标准干涉仪得到的测量结果之间的最大差值不超过4 μrad，能够以较低成本满足CMM转角误差测量要求。

关键词：三坐标测量机;转角误差测量方法;干涉法;角位移传感器

基金资助：内蒙古自治区高等学校科学研究项目（NJZY19355）