红外激光在线烧结EHD打印多层微米导电薄膜的性能实验研究

来源：机床与液压杂志2022年第9期北京时间：

作者：张天成，黄风立，于志恒，杨超，汤成莉，胡根林

单位：浙江理工大学机械与自动控制学院；嘉兴学院信息科学与工程学院；嘉兴南湖学院机电工程学院；嘉兴学院信息科学与工程学院；嘉兴学院信息科学与工程学院；浙江加西贝拉科技服务股份有限公司

摘要：以相片纸为基底，以自制的纳米银导电墨水为介质，通过EHD电流体动力学设备制备出1～4层不同打印厚度的导电薄膜。采用激光烧结的方式对不同薄膜厚度的薄膜图案进行固化；用电阻表测量出固化后各厚度的导电薄膜的电阻率；采用扫描电子显微镜观察烧结前后不同层厚导电薄膜的表面形貌。结果表明：不同厚度薄膜图案烧结后的电阻率、表面形貌、薄膜表面孔隙率存在较大差异；3层厚导电薄膜的电阻率为2.9μΩ·cm，与块状银的电阻率接近，其导电薄膜表面形貌均匀，且孔隙率仅为7.9%，整体效果明显优于1、2和4层薄膜。通过研究给出薄膜制备相应的印刷层数以及不同厚度导电薄膜对应的最佳烧结参数，为纳米银导电薄膜的制备提供参考。

关键词：导电薄膜;电流体动力学;激光烧结;表面形貌;孔隙率

基金资助：嘉兴市公益性技术应用研究计划（2018AY11009）；浙江省基础公益研究计划（LGG20E050021）