高度集成分段电阻膜位移测量装置设计

来源：机床与液压杂志2022年第10期北京时间：

作者：徐佳佳，李梦雪，李丹佳，郭薇妮，熊伟

单位：北京精密机电控制设备研究所；北京精密机电控制设备研究所；北京精密机电控制设备研究所；北京精密机电控制设备研究所；北京精密机电控制设备研究所

摘要：传统一段式位移测量装置难以在有限空间内实现输入输出电压匹配，需额外设计电源变换电路，增加了系统的复杂性。为此，提出一种高度集成分段电阻膜位移测量装置。在电气行程电阻膜外串联印制同系列不同方阻配方比电阻膜，通过分压作用实现电压变换，满足系统输入输出特性匹配需求；通过两次印制、两次修刻的方法，保证产品最终电阻值、线性度等指标满足系统使用要求以及输出的稳定性；进行理论分析、结构和工艺设计以及试验。结果表明：该设计结构紧凑、电压变换简便，具有良好的线性度等特性，可克服传统位移测量装置的局限性。

关键词：位移测量装置;分段位移测量;电阻膜;电压变换