非球面超精密磨削误差建模与补偿研究
来源：机床与液压杂志2023年第2期北京时间：
作者：徐俊东，殷跃红
单位：上海交通大学机械与动力工程学院；上海交通大学机械与动力工程学院
摘要：为提高课题组自研的超精密磨床加工精度，基于多体系统理论，运用齐次坐标变换原理，分析该超精密磨床37项几何误差来源，对非球面超精密磨削的综合误差建模。超精密磨床的多项几何误差元素已在制造阶段标定、补偿，取砂轮对刀误差和砂轮轮廓半径磨损误差作为主要面形误差来源，分别推导其对综合误差的传递函数，分析误差辨识方法，建立误差修正补偿模型，提出基于直接补偿的点补修正法。试验结果表明：建立的综合误差模型正确，根据误差辨识方法和修正补偿模型，修正误差后面形误差显著降低，有效提高面形精度。
关键词：超精密磨削;非球面;多体系统理论;误差补偿
