基于IPC+TwinCAT 3平台的巡边框胶涂布控制系统设计

来源：机床与液压杂志2023年第5期北京时间：

作者：章周伟，廖映华，胡飞

单位：四川轻化工大学机械工程学院；宜宾市智能终端数字化制造工程技术研究中心；四川化工职业技术学院机械工程学院

摘要：为优化整面式涂布工艺，提高光刻胶材料利用率，减小曝光显影面积，设计基于“IPC+TwinCAT 3”平台的巡边框胶涂布控制系统。搭建“IPC+TwinCAT 3”控制系统硬件平台，运用经典控制策略，实现9轴精密运动，运用视觉检测，实现了巡边框胶涂布和偏差测量。以IPLUI为平台，设计等级权限的人机交互，最后完成了小批量涂布试验。结果表明：该系统运行稳定，框胶膜厚处于0.6~2 μm标准范围，优化后材料利用率高于97%，提高了框胶涂布的自动化水平。

关键词：IPC+TwinCAT 3平台;巡边框胶涂布;精密运动

基金资助：四川省科技厅高新技术重点研发项目(2021YFG0056)；宜宾市职业技术学院校级项目(ybzysc20-03)；四川省科技厅高新技术重点研发项目(2022YFG0012)；大学生创新基金项目(D10501177；B50104436)