蓝膜固定面积可调式顶针罩设计与仿真分析

来源：机床与液压杂志2023年第7期北京时间：

作者：王战中，李旭龙，袁亚强

单位：石家庄铁道大学机械工程学院；石家庄铁道大学机械工程学院；石家庄铁道大学机械工程学院

摘要：针对现有关于芯片剥离研究大多集中在顶针的结构设计和多顶针布置以及剥离工艺参数上，而忽略顶针罩以及顶针罩相关工艺参数在芯片剥离过程中影响的问题，设计一款蓝膜固定面积可调式顶针罩装置，该装置通过顶针罩内部气路的结构变换实现蓝膜固定面积的调节。随后利用正交试验方法分析了蓝膜固定面积和蓝膜底部真空吸附力这两个工艺参数对芯片剥离的影响，得出了蓝膜固定面积对芯片剥离的影响是蓝膜底部真空吸附力10倍的结论，验证了设计装置的必要性。随后利用ANSYS软件中的流体模块，分析和验证了这种可调节蓝膜固定面积顶针罩装置的可行性。

关键词：顶针罩设计;正交分析;流体力学仿真;工艺参数影响

基金资助：国家重点研发计划（2018YFB1501203）；山东省重点研发计划（2019GGX104001）；山东省自然科学基金（ZR2019MEE076）；山东省高等学校青创科技支持计划（2019KJB031）