气浮隔振平台特性测试方法的研究
来源：机床与液压杂志2023年第23期北京时间：
作者：徐新云，陈旭雯，陈章位
单位：浙江大学机械工程学院；杭州亿恒科技有限公司；浙江大学机械工程学院
摘要：针对气浮隔振平台的振动隔离特性评估，建立隔振平台的力学模型，获得刚度-阻尼并联的两参数模型的传递特性。设计一套微振动测量评估系统，测量流程为：冲击锤激励隔振平台，低频微振动加速度传感器测量地面和隔振台面微小振动加速度值，MI-7208型智能便携式数据采集仪实时采集振动数据，通过配套的专业隔振平台特性分析软件处理得到隔振平台的固有频率和隔振效果等指标。试验结果表明：气浮隔振平台振动衰减可达25 dB；其水平和垂直方向固有频率均在2 Hz附近，与设计参数吻合。
关键词：微振动测量;气浮隔振平台;隔振效果;固有频率
