基于LabVIEW的白光干涉测量系统算法开发及软件设计

来源：机床与液压杂志2024年第5期北京时间：

作者：朱靖，丁斌，毛敏，张翔，陈旭雯，祖洪飞

单位：浙江理工大学机械工程学院；南通市计量检定测试所；南通市计量检定测试所；浙江谱麦科技有限公司；浙江龙宇智能科技有限公司；浙江理工大学机械工程学院

摘要：为全面实现白光干涉测量系统的搭建及应用，在硬件结构的基础上对软件系统进行了设计和开发。以LabVIEW图形化编程语言为开发工具，分别通过 NET控件、ActiveX控件与运动控制器和数据采集仪建立通信，实现对5个运动轴的协调控制及数据的实时采集及分析处理。最后通过对标准环规的测试，验证了此软件不仅能精确高效地完成白光干涉测量系统的测试任务，其所输出的点云数据还可以进一步处理获得直径、圆柱度等形位公差信息。

关键词：白光干涉测量;LabVIEW;软件设计

基金资助：江苏省市场监督管理局科技计划项目（KJ21125021）；2021年海宁市协同创新项目（20210101）