MPCVD设备样品台温控系统的设计

来源：机床与液压杂志2024年第5期北京时间：

作者：张威，任天平

单位：郑州大学机械与动力工程学院；郑州大学机械与动力工程学院

摘要：由于传统MPCVD设备样品台温度控制需要使用手动调节样品台距等离子源的距离，且调节精度差，为此设计一种样品台温控系统，同时设计了样品台温控系统硬件控制器。该控制器以STM32F407单片机为核心，步进电机、丝杠、金属波纹管为执行机构，通过控制样品台在腔体内距等离子源的距离，实现温度控制。并提出一种将改进鲸鱼算法(WOA)与神经网络PID控制算法结合的控制方法，实现PID参数的自适应调整。仿真和实验结果表明：相对于传统PID算法，使用该温控系统进行温度控制时，超调量更小，控制精度更高，控制效果有很大提升。

关键词：MPCVD设备;温控系统;改进鲸鱼算法;BP神经网络

基金资助：国家自然科学基金(U1904169)