曲面硅电极五轴精密磨削工艺研究
来源：机床与液压杂志2024年第7期北京时间：
作者：卢震，程俊兰
单位：北京精雕科技集团有限公司；北华航天工业学院
摘要：近两年出现了新型刻蚀技术，将半导体刻蚀用硅电极设计成曲面结构。而曲面硅电极的精度及粗糙度要求非常高，其生产都是在国外进行，具体工艺未知。研究出一套曲面硅电极高效、精密磨削方法。通过分析曲面硅电极零件，提出采用五轴磨削技术进行加工的工艺方案，使用五轴编程软件进行编程，采用具备机内自动化技术和数字仿真技术的五轴磨削中心，对曲面硅电极的磨削加工策略进行验证。结果表明：此项加工技术可提高加工效率和产品良率，并减少后续的研磨抛光时间，降低了生产成本。
关键词：曲面硅电极;精密磨削;机内自动化;数字仿真;工艺研究
