嵌段共聚物薄膜快速自组装方法

来源：化学进展杂志2022年第3期北京时间：

作者：刘玉玲, 胡腾达, 李伊莲, 林洋, Borsali Redouane, 廖英杰

单位：1 上海大学材料科学与工程学院 上海 200444,2 上海大学机电工程与自动化学院 上海 200444,3 格勒诺布尔阿尔卑斯大学 格勒诺布尔 38000

摘要：嵌段共聚物 (BCP) 薄膜可通过不同的退火方法诱导其微相分离,从而获得大面积圆柱状、层状和球状等纳米图案。这些长程有序的纳米结构形态,已经广泛应用在纳米光刻和电子器件等多个领域中。目前,有效且快速的退火方法仍然是BCP薄膜自组装技术中的研究热点。本文首先介绍了制备BCP薄膜纳米结构图案常用的退火技术,然后综述了三种新型快速退火技术,最后分析总结了这些退火技术的优缺点。

关键词：快速自组装,嵌段共聚物,薄膜,退火工艺