MEMS电热常闭开关的设计和性能研究
来源：火工品杂志2015年第1期北京时间：
作者：平 川
单位：陕西应用物理化学研究所
摘要：针对低能、微小型起爆系统在勤务处理中的安全性问题，开展了MEMS电热常闭开关技术研究。通过Ansys分析软件建立了MEMS电热常闭开关仿真模型，对MEMS电热常闭开关换能元及其电热性能进行了仿真计算，得到了MEMS电热常闭开关的设计方案。通过MEMS加工工艺制作了MEMS电热常闭开关，并测试其性能。结果表明，仿真计算结果与试验结果吻合，MEMS电热常闭开关实现了通-断转换，开关的最低作用电流为0.19A。
关键词：起爆系统;低能;微小型;安全性; MEMS电热常闭开关;仿真;性能测试
