环氧树脂高压平面固体开关研究

来源：火工品杂志2016年第1期北京时间：

作者：李明愉

单位：北京理工大学爆炸科学与技术国家重点实验室

摘要：本研究首先使用Maxwell仿真软件对环氧树脂固体开关的可行性进行分析，然后利用微电子机械加工技术，使用环氧树脂作为开关的固体材料制得固体开关。对环氧树脂固体材料的热稳定性，以及开关的静态自由击穿电压、开关延迟时间进行测试，并对触发后的空气开关与固体开关形貌进行对比。结果表明：环氧树脂可以承受300℃的高温；在主电极和触发电极距离0.08mm、触发电压2 000V条件下，高压固体开关可被触发；相同尺寸的固体开关比空气开关耐压400~600V，开关延迟时间约20ns；触发后的固体开关损伤严重，不能重复使用。

关键词：固体开关;高压开关;环氧树脂;静态自由击穿电压;延迟