硅基平面微雷管设计研究
来源：火工品杂志2018年第1期北京时间：
作者：解瑞珍
单位：陕西应用物理化学研究所
摘要：针对MEMS安全保险机构的发展对起爆单元平面化的需求，利用SOI片特有的三层结构，开展了硅基平面微雷管的设计研究。以SOI片的外延硅作为平面微雷管原位装药用专用电极，提升了微雷管结构与原位装药工艺的兼容性。以SOI片的本体硅作为装药腔体层，减少了微雷管的轴向尺寸，提高集成度。性能试验表明该硅基平面微雷管实现了发火及起爆下级装药的功能。
关键词：微雷管;换能元;发火电压;集成
《火工品杂志》发表论文赏析
作者：解瑞珍
单位：陕西应用物理化学研究所
摘要：针对MEMS安全保险机构的发展对起爆单元平面化的需求，利用SOI片特有的三层结构，开展了硅基平面微雷管的设计研究。以SOI片的外延硅作为平面微雷管原位装药用专用电极，提升了微雷管结构与原位装药工艺的兼容性。以SOI片的本体硅作为装药腔体层，减少了微雷管的轴向尺寸，提高集成度。性能试验表明该硅基平面微雷管实现了发火及起爆下级装药的功能。
关键词：微雷管;换能元;发火电压;集成
