镍铬硅薄膜换能元的制备及其发火性能研究
来源：火工品杂志2024年第5期北京时间：
作者：任小明
单位：陕西应用物理化学研究所
摘要：为了探索镍铬硅薄膜换能元的发火性能，采用MEMS工艺制备了镍铬硅薄膜换能元。利用扫描电子显微镜（SEM）和四探针法对镍铬硅薄膜进行了性能表征；依据 GJB/Z 377B-2022 感度实验中兰利法进行了镍铬硅薄膜换能元感度测试；在发火电压27 V、发火电容33 μF条件下对镍铬硅薄膜换能元进行了发火性能测试。结果表明：镍铬硅薄膜表面平整、致密性较好，且具有负电阻温度系数，其换能元平均发火电压比镍铬薄膜换能元高；镍铬硅薄膜换能元作用过程中产生等离子体，瞬发度高。
关键词：薄膜换能元;镍铬硅;MEMS;性能表征;发火性能
基金资助：重点实验室稳定运行费(WDYX22614260202)。
