二维三氧化钨纳米结构的合成及其在光电探测器中的应用

来源：核动力工程杂志2022年第1期北京时间：

作者：孙聪健, 黄有骏, 王银丽, 包超, 蒋天植, 徐青蓝, 雷文, 赵立

单位：1.中国核动力研究设计院核反应堆系统设计技术重点实验室，成都，610213；2.西澳大利亚大学工程与数学科学学院，珀斯，6000；3.成都工业学院，成都，611730；

摘要：三氧化钨（WO₃）是制造晶体管和光电探测器的理想材料，虽然在WO₃纳米结构的生长方面已经完成了一些工作，但是制造足够长的理想型纳米线仍然是一个挑战。在众多的合成方法中，作者选择了化学气相沉积（CVD）方法合成WO₃纳米线，并对其在光电传感器中的应用进行了研究。影响WO₃纳米线成品率的主要因素是前体材料温度、基片位置、载气流速和生长持续时间。在合适的生长条件下生长的纳米线长度最长约为100 μm。这些WO₃纳米线可用来制造高性能的光电探测器，WO₃光电探测器具有灵敏度高、响应速度快、模块微型化等优良的器件性能，表明二维WO₃纳米线在光电探测器的制造中具有很大的优势。

关键词：三氧化钨（WO₃）, 光电探测器, 二维材料, 纳米结构