W掺杂Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜的制备及其在异丁烯气体检测中的应用
来源：复合材料学报杂志2023年第8期北京时间：
作者：王鹏家, 彭宝营, 吴伟, 巩亚东,
摘要：为了实现对异丁烯气体的有效检测，采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)技术在氧化铝基底表面合成氧化铬(Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>)及W掺杂Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>(W/Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>)薄膜。通过SEM、TEM、XRD及XPS等检测手段对Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>及W/Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜的微观形貌、晶体结构和元素结合价态进行分析。结果表明：Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜厚度约为20 μm，由粒径为50 nm左右的纳米颗粒组成，其结构较松散，而W掺杂Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>后所获薄膜结构致密，颗粒粒径约为15 nm，尺寸明显减小，Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>及W/Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜均具有单一的六方相晶体结构。气敏测试结果表明，在400℃工作温度条件下，基于W/Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜所制备的气体传感器相较于Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>气体传感器对2×10<sup>−5</sup>异丁烯的灵敏度由原来的1.11提升为3.55，并展现出良好的稳定性、抗湿性和气体选择性。
关键词：W掺杂, Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜, 气体传感器, 异丁烯, 敏感机制,
