基于干共混法控制柔性模板上金属薄膜微裂纹形貌
来源：复合材料学报杂志2020年第12期北京时间：
作者：田波, 叶向东,
摘要：以500 nm的SiO<sub>2</sub>纳米粒子为填料，聚二甲基硅氧烷(PDMS)为包覆纳米粒子的聚合物，通过一种新颖的干共混法制备了SiO<sub>2</sub>纳米粒子含量高达83.8wt%的SiO<sub>2</sub>/PDMS柔性模板。所制备柔性模板的弹性模量为16.58 MPa，热膨胀系数为96×10<sup>−6</sup>/℃，较SiO<sub>2</sub>直接掺入PDMS中湿共混制备的纯PDMS柔性模板，弹性模量提高了91.56%，热膨胀系数降低了69.23%，且该柔性模板具有良好的透明度。最后，在柔性模板表面采用磁控溅射法沉积银薄膜，利用SEM和AFM对银薄膜表面形貌进行表征。结果显示，银薄膜表面光滑，粗糙度很小，且具有良好稳定性。干共混法制备的柔性模板有效抑制了金属薄膜微裂纹的产生，为制造导电性良好的电极及大面积的金属薄膜提供了新方案。
关键词：SiO<sub>2</sub>/PDMS柔性模板, 干共混法, 微裂纹, 弹性模量, 热膨胀系数,
