化学气相沉积低温各向同性热解炭微观结构及沉积机制

来源：复合材料学报杂志2016年第8期北京时间：

作者：张建辉, 郑艳真,

摘要：为了研究低温各向同性热解炭（LTIC）的微观结构及沉积机制，采用不同体积分数的丙烷为碳源，在不同的沉积温度下进行稳态流化床化学气相沉积实验制备LTIC，借助SEM和TEM对不同沉积条件下制备的LTIC微观结构进行表征和分析。结果表明：不同沉积条件下制备的LTIC由类球形颗粒状和片层状炭结构组成，沉积温度升高，降低了热解炭在气相中的形核势垒，LTIC中类球形颗粒数量增多，尺寸变小，且类球形颗粒内包围炭黑颗粒的炭层织构逐渐降低；丙烷体积分数升高，热解炭沉积过程逐渐由以表面生长机制为主转变为以气相形核机制为主，所制备的LTIC中类球形颗粒形貌越来越明显，而片层状炭结构逐渐减少甚至完全消失。

关键词：化学气相沉积, 流化床, 低温各向同性热解炭, 沉积条件, 微观结构, 沉积机制,