一种电极型MEMS电场传感器封装结构

来源：电子与信息学报杂志2016年第11期北京时间：

作者：闻小龙, 任天令, 夏善红

单位：1.(清华大学微电子学研究所 北京 100084) ②(中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室 北京 100190)

摘要：为了提高MEMS电场传感器敏感芯片封装的环境适应性，该文提出一种新型的电极型MEMS电场传感器封装结构。区别于将传感器敏感芯片及探头放置于被测环境中，该文通过在MEMS电场传感器封装管壳外部增加封装电极，仅将封装电极暴露在被测环境中，有效避免了传感器敏感芯片封装管壳受到多种恶劣环境的干扰。研制出基于新型封装结构的MEMS地面电场传感器及探空电场传感器，仿真及试验结果表明，该结构传感器能够实现对电场高精度准确测量，在高湿、低温等恶劣环境下输出稳定可靠。

关键词：电场传感器, 微机械电子系统, 封装, 环境适应性, 大气电场探测

基金资助：国家自然科学基金(61302032, 61327810, 61201078)