非晶丝GMI磁传感器微加工制造方法

来源：电子与信息学报杂志2025年第11期北京时间：

作者：张波, 闻小龙, 万亚东, 张超, 李建华

单位：1.北京科技大学数理学院 北京 1000832.北京市弱磁检测及应用工程技术研究中心 北京 100083

摘要：与非晶带和非晶薄膜相比，非晶丝表现出更高的巨磁阻抗效应(GMI)性能，是制作GMI磁传感器的理想材料。然而，受限于其柔性异构的形态，非晶丝在器件制备过程中不易实现精准定位。另外，由于非晶丝润湿性差，焊接时接触电阻难以控制，器件性能一致性差。该文提出一种基于非晶丝的GMI磁传感器微加工制造方法，利用玻璃通孔作为对准标记和辅助固定，将非晶丝精确定位并固定在玻璃晶圆上，通过光刻、电镀等微加工工艺制备焊盘，实现非晶丝与焊盘之间的电互连，形成非晶丝的器件级加工与制造。采用绕线机在器件表面绕制信号拾取线圈，最终完成GMI磁传感器制备。该设计避免了直接在非晶丝上绕制信号拾取线圈产生的变形和应力积累问题，提高了非晶丝GMI磁传感器的可制造性。对制备的GMI磁传感器进行测试，结果表明该传感器在–1Oe～+1Oe具有良好的线性度和稳定性。

关键词：磁传感器, GMI效应, 非晶丝, 接触电阻, 器件级制造

基金资助：中央高校基本科研业务费专项资金(FRF-BD-25-033)