射频MEMS开关寿命测试系统的设计与实现

来源：电子测量技术杂志2023年第9期北京时间：

作者：史泽民，高旭东，王耀利，吴倩楠，李孟委

单位：1.中北大学仪器与电子学院 太原 030051; 2.中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051; 3.中北大学微系统集成研究中心 太原 030051; 4.中北大学电气与控制工程学院 太原 030051

摘要：针对射频MEMS开关寿命测试成本昂贵，测试连线复杂，且随着射频MEMS开关的尺寸不断缩小，传统测试效率低、测试任务只能在实验室进行等问题，本文设计并实现了一种小型且集成化的射频MEMS开关测试系统，组建了具备信号发生、波形实时监测、寿命计算、数据记录和测试报告打印等功能的射频MEMS开关测试系统，并用该系统对某款射频MEMS开关进行了初步测试评价。结果表明该系统较好的完成了射频MEMS开关的开关电压、开关时间和冷、热寿命的测试，能够满足射频MEMS开关的测试要求，证明了该测试系统的实用性和测试工作的准确性。

关键词：射频 MEMS 开关;MEMS 测试;小型化测试系统;开关寿命;冷寿命;热寿命

基金资助：装备发展部仪器型号项目资助