UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔

来源：大连理工大学学报杂志2015年第5期北京时间：

作者：马雅丽,刘文开,路学成,刘冲

摘要：设计并制作了微注塑模具型腔．利用无背板生长法，采用UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术，直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔．对SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化，给出厚度350μm的SU-8胶的建议工艺条件固定边框厚度进行刮胶；梯度升温前烘，自65℃至85℃每隔5℃间歇式升温，且85℃的烘焙时间为5.5~6.0h；紫外光接触式曝光，剂量630mJ/cm2；85℃中烘15min，显影20min．针对Ni微细电铸过程中产生节瘤现象分析原因并改善工艺参数，将电流密度和pH分别控制在3A/dm2以下和3.8~4.4．最终成功获得高质量的微注塑模具型腔．

关键词：UV-LIGA技术SU-8胶微细电铸微注塑模具型腔

基金资助：“十一五”国家科技支撑计划资助项目(2006BAF04B13).