采用等离子干燥工艺提高镀膜附着强度稳定性
来源：电讯技术杂志2016年第3期北京时间：
作者：詹为宇
单位：(中国西南电子技术研究所，成都 610036)
摘要：镀膜工艺设计应能有效脱附物理和化学吸附，才能保证附着强度工艺稳定性。设备运行后腔室内表面沉积物增加，通过分析变化影响探索出一种等离子干燥工艺方法，应用后提高了生产效率，保证了薄膜电路金属叠层间附着强度生产稳定性，满足产品工程应用的可靠性要求。
关键词：毫米波组件；薄膜电路；附着强度；等离子干燥；溅射；材料出气；
基金资助：国家科技攻关计划项目
